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中国光刻机领域取得最新突破,迈向高精度制造新时代。这一重要进展将极大提升国内光刻技术的水平,推动国内半导体产业的发展。该突破涉及多个关键技术领域的协同进步,包括光源、光学镜头、高精度控制等。这一进展不仅有助于提升国内...